October 18, 2025
لوله های شیشه ای کوارتز با قطر بزرگ معمولاً به لوله هایی با قطر بیرونی بیش از 100 میلی متر اشاره دارند و حتی تا 500 میلی متر یا بزرگتر نیز می رسند. با توجه به خواص فیزیکی و شیمیایی منحصر به فردشان، کاربردهای ضروری در بسیاری از زمینه های صنعتی و فناوری پیشرفته دارند.
Lianyungang Shengfan Quartz Product Co.,Ltd یک تولید کننده حرفه ای محصولات کوارتز است که می تواند سفارشی سازی را پشتیبانی کند.
این شرکت با خطوط تولید پردازش آتش بالغ و تیم تحقیق و توسعه، از جمله خطوط تولید پردازش لوله های کوارتز با قطر بزرگ، خطوط تولید ابزار کوارتز، خطوط تولید قایق کوارتز، خطوط تولید قطعات جوشکاری نیمه هادی فتوولتائیک و غیره مطابقت دارد. این شرکت همچنین مجهز به مجموعه کاملی از تجهیزات پردازش سرد است.
برای خطوط تولید پردازش لوله های کوارتز با قطر بزرگ، این شرکت می تواند حداکثر قطر OD 1000mm و طول 5000mm را تولید کند. تلرانس قطر می تواند بهترین +/-0.2mm و صافی +/-0.2mm باشد.
کاربرد اصلی لوله های کوارتز با قطر بزرگ عبارت است از:
1. صنعت نیمه هادی:
در تولید تراشه، لوله های کوارتز مواد مصرفی کلیدی برای فرآیندهایی مانند انتشار، اکسیداسیون و بازپخت هستند.
· لوله های کوره انتشار افقی: این کلاسیک ترین کاربرد است. لوله های کوارتز با قطر بزرگ به عنوان محفظه واکنش عمل می کنند و ویفرهای سیلیکونی در داخل لوله ها قرار می گیرند. تحت شرایط دمای بالا، گازهای خاص (مانند اکسیژن، نیتروژن، آرگون و غیره) برای انجام اکسیداسیون حرارتی برای تشکیل یک لایه دی اکسید سیلیکون یا برای معرفی ناخالصی ها برای اصلاح خواص الکتریکی سیلیکون معرفی می شوند. قطر لوله های کوره باید به اندازه کافی بزرگ باشد تا "قایق کوارتز" که تعداد زیادی ویفر سیلیکونی را حمل می کند، در خود جای دهد.
· کوره لوله عمودی: با پیشرفت فناوری، فرآیند عمودی به جریان اصلی تبدیل شده است. در اینجا، لوله های کوارتز با قطر بزرگ به عنوان محفظه های فرآیند عمل می کنند و ویفرهای سیلیکونی به صورت عمودی در داخل لوله ها برای فرآیندهایی مانند LPCVD (رسوب بخار شیمیایی با فشار کم) و انتشار قرار می گیرند. این فرآیندها الزامات بسیار بالایی برای گردی، عمودی بودن و کیفیت ذاتی لوله های کوارتز دارند.
![]()
2. صنعت فتوولتائیک (تولید سلول های خورشیدی)
مشابه صنعت نیمه هادی، برای تولید سلول های سیلیکونی کریستالی درجه خورشیدی استفاده می شود.