حامل های کوارتز با خالصیت بالا به مواد مصرفی اصلی برای کوره های خلاء تبدیل می شوند
2026/07/10
حامل های ویفر کوارتز با خلوص بالا (قایق های کوارتز) وسایل ضروری در داخل کوره های خلاء نیمه هادی برای فرآیندهای بازپخت، LPCVD، اکسیداسیون و انتشار هستند.
ساخته شده از 99.995% سیلیس ذوب شده، دارای ناخالصی های فلزی بسیار کم هستند تا از آلودگی ویفر تحت خلاء بالا جلوگیری کنند. با انبساط حرارتی بسیار کم و بازپخت کامل تنشزدایی، حاملها تحت سیکلهای حرارتی 1000 تا 1200 درجه سانتیگراد از نظر ابعادی پایدار میمانند و در برابر شوک حرارتی و تغییر شکل مقاومت میکنند.
از نظر شیمیایی نسبت به فلوئور، اسیدی و گازهای حامل، سطوح صاف صیقلی، ریزش ذرات و خراش براده را کاهش میدهند. شیاربندی دقیق ویفرها را برای جریان یکنواخت گرما و گاز در فاصله یکنواخت نگه می دارد و ضخامت فیلم و عملکرد الکتریکی را تثبیت می کند.
اندازه های سفارشی برای ویفرهای 4/6/8/12 اینچی برای مطابقت با کوره های لوله خلاء افقی و عمودی موجود است. حاملهای کوارتز داخلی با کیفیت وارداتی با زمان کوتاهتر و هزینههای کمتر مطابقت دارند و از تولید انبوه تراشهها، سلولهای خورشیدی و مواد اپتوالکترونیک پشتیبانی میکنند.
