کیس پروژه لوله کوارتز فلنج دار با خلوص بالا سفارشی | لوله سیلیکا ذوب شده با فلنج یکپارچه برای راکتور خلاء کوره لوله نیمه هادی CVD-sara
منتشر شده در: June 22, 2026
مورد پروژه: لوله شیشه ای کوارتز فلنج دار با خلوص بالا سفارشی
بررسی اجمالی پرونده
این کیس تولید دسته ای لوله کوارتز فلنج دار سفارشی برای تولید کننده تجهیزات نیمه هادی خارج از کشور را پوشش می دهد. مشتری برای محفظه واکنش CVD و کوره آنیلینگ با دمای بالا به لوله های سیلیس ذوب شده مقاوم در برابر درجه حرارت بالا با فلنج های کوارتز یکپارچه نیاز داشت. ما سفارشی سازی کامل یک مرحله ای از جمله اندازه لوله، طرح سوراخ پیچ فلنج، ضخامت دیوار و بازپخت تنش زدایی در دمای بالا، حل مشکلات طولانی مدت آنها از نشت خط لوله، آلودگی ناخالصی بالا و ترک خوردن مکرر لوله در طول چرخه حرارتی ارائه کردیم.
نکات درد مشتری قبل از همکاری
- لوله های شیشه ای بوروسیلیکات اصلی در دمای کار بالای 900 درجه سانتیگراد تغییر شکل داده و باعث نشت اتصال فلنج و محیط خلاء ناپایدار می شود.
- لوله های کوارتز جوشی معمولی بدون بازپخت پس از چرخه های سرد و گرم مکرر، هزینه تعویض بالا و از دست دادن زمان توقف تولید، به راحتی ترک می خورند.
- تحمل ابعادی کنترل نشده فلنج ها، تطابق ضعیف با وسایل آب بندی فلزی مشتری، بازده پردازش پایین.
- مواد خام کوارتز با خلوص پایین باعث آلودگی یون های فلزی شده و بر دقت پردازش ویفر تأثیر می گذارد.
محلول لوله فلنج کوارتز سفارشی ما
- انتخاب مواد: 99.99% سیلیس ذوب شده مصنوعی با خلوص بالا با محتوای هیدروکسیل کم، بدون ناخالصی فلزی، سازگار با فرآیند نیمه هادی فوق تمیز.
- فلنج جوش گرم یکپارچه: فلنج کوارتز یکپارچه فیوز شده روی تک یا هر دو انتهای بدنه لوله، درز جوشکاری با استحکام بالا، به طور کامل آنیل شده برای از بین بردن استرس داخلی، مقاومت در برابر شوک حرارتی.
- ماشینکاری CNC دقیق: قطر خارجی سفارشی، ضخامت دیوار، طول لوله، قطر بیرونی فلنج، موقعیت سوراخ پیچ و دیافراگم با تحمل دقیق ± 0.02 میلی متر.
- درمان سطحی: دیواره لوله داخلی و خارجی صیقلی شده با شعله، صاف و بدون حباب، خراش یا ریزترک، عبور عالی UV و نور مرئی.
- سفارشی سازی ساختاری: پشتیبانی از فلنج تک، فلنج های دوگانه، پایین گنبد بسته، ساختار مقاوم در برابر فشار بالا با دیواره ضخیم مطابق با الزامات طراحی مشتری.
تحویل و اثر عملیات واقعی
ما تایید نمونه، سفارش آزمایشی و تولید انبوه را ظرف 12 روز کاری به پایان رساندیم، بازرسی کامل ابعاد، تست پیری در دمای بالا و تست سفتی خلاء را قبل از حمل و نقل کامل کردیم. پس از نصب مشتری و عملیات مداوم طولانی مدت:
- نشت صفر تحت خلاء بالا و دمای کار مداوم 1150 درجه سانتیگراد.
- بدون ترک خوردگی پس از 100+ تست چرخه حرارتی، عمر مفید بیش از 3 برابر افزایش یافت.
- بارش ناخالصی صفر، عملکرد محصول ویفر 16٪ بهبود یافته است.
- اندازه استاندارد فلنج کاملاً با قطعات گیره و آب بندی موجود مشتری مطابقت دارد و زمان مونتاژ تجهیزات را تا حد زیادی کاهش می دهد.