مطالعه موردی: Fused Silica Furnace Tube-Amy
منتشر شده در: June 24, 2026
1. پیشینه مشتری
یک تولید کننده نیمه هادی های قدرت 8 اینچی از کوره های انتشار عمودی در دمای 1050 تا 1180 درجه سانتی گراد برای اکسیداسیون و دوپینگ استفاده می کند. الزامات سختگیرانه در مورد خلوص مواد، عبور مادون قرمز و مقاومت در برابر شیب زدایی.
2. مسائل اصلی با لوله های سیلیکا معمولی
لولههای جلا داده شده با شعله JGS1 باعث نقصهای متعدد تولید شدهاند:
- محتوای بالای OH منجر به نفوذ ضعیف مادون قرمز و میدان دمایی ناهموار و کاهش بازده ویفر می شود.
- ناخالصی های فلزی بالا باعث دگرگونی سریع و ترک خوردگی مکرر می شود. لوله ها هر 45 روز یکبار نیاز به تعویض دارند.
- مهره های مات جلا داده شده با شعله باعث آب بندی ضعیف در خلاء و غلظت گاز فرآیند ناپایدار می شود.
3. راه حل بهینه: لوله های سیلیکا FS03
- مواد: سیلیس ذوب شده با خلاء FS03، SiO2 ≥99.995٪، OH- 10 ppm، ناخالصی های بسیار کم.
- سطح: پرداخت آینه ای کاملا شفاف برای لوله ها، فلنج ها و مهره های کوارتز (بدون پرداخت شعله).
- ساختار: دیوار ضخیم، جوش بدون تنش برای مقاومت در برابر شوک حرارتی بالا.
4. نتایج تست و تولید
- اختلاف دمای داخل کوره از 12± درجه سانتی گراد به 3± درجه سانتی گراد کاهش یافت.
- بازده ویفر 6.8 درصد افزایش یافت. عمر سرویس از 45 روز به 180 روز افزایش یافته است.
- خرابی های نشت خلاء 95 درصد کاهش یافت. توقف تولید کمتر برای تعویض لوله
5. نتیجه گیری
لوله های کوره صیقلی شفاف FS03 یکنواختی دما و خطرات آلودگی را حل می کند، هزینه تعمیر و نگهداری را کاهش می دهد و تولید انبوه پایدار را برای فرآیندهای حرارتی نیمه هادی افزایش می دهد.
